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石墨盘烤盘炉 性价比高真空烤盘 热处理设备 真萍科技

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  • 最后更新: 2020-02-25 09:49:08
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石墨盘烤盘炉 性价比高真空烤盘 热处理设备 真萍科技详细说明

石墨盘烤盘炉 性价比高真空烤盘 热处理设备 真萍科技

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。


二、设计特点


1、后门设计热风电机


2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向


3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的


三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高)


*技术细节变动之处,恕不另行通知,具体设备参数以咨询结果为准。

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