金刚石线锯床是用于蓝宝石、碳化硅等高硬度脆性晶体切片加工的工艺试验仪器，其采用金刚石线网实现晶体的多片锯切加工。该设备加工晶体尺寸为直径200mm、长度150mm，金刚石线直径范围覆盖0.125-0.25mm，配备0.03-90mm/min的进给速度调节能力。系统可对切片表面质量进行检测评价，晶片厚度检测精度达±0.20μm，TTV、BOW等参数检测精度为±0.30μm [1]。