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2025-09
星期 四
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无锡6吋立式炉 赛瑞达智能电子装备供应
气体分配系统是立式炉维持特定反应气氛的关键。它能根据不同工艺,输送高纯氮气、氩气等通用气体及特种气体。在半导体行业,氧化、扩散等工艺对气体种类与流量要求严苛。为满足这些需求,现代立式炉气体分配系统采用高精度质量流量控制器,精确调控
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2025-09
星期 四
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无锡第三代半导体管式炉扩散炉 赛瑞达智能电子装备供应
随着物联网与大数据技术的发展,管式炉在半导体领域正迈向智能化。未来的管式炉有望集成先进传感器,实现对炉内温度、气氛、压力等参数的实时监测与数据分析。通过大数据算法,可对设备运行状态进行预测性维护,提前发现潜在故障隐患,同时优化工艺
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2025-09
星期 四
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无锡智能立式炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式炉是一种垂直设计的工业加热设备,其关键结构包括炉膛、加热元件、温控系统和气体循环系统。炉膛通常由耐高温材料制成,能够承受极端温度环境。加热元件(如电阻丝或硅碳棒)均匀分布在炉膛内,确保热量分布均匀。温控系统通过热电偶或红外传感
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2025-09
星期 四
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无锡第三代半导体管式炉PSG/BPSG工艺 赛瑞达智能电子装备供应
退火工艺在半导体制造流程里,主要用于消除硅片在前期加工过程中产生的内部应力,使晶体结构重新恢复完整性,同时还能促进掺杂原子在晶格中的均匀分布,优化半导体材料的电学性能。管式炉凭借自身出色的性能,为退火工艺提供了稳定可靠的环境。在惰
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2025-09
星期 四
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无锡8吋管式炉一般多少钱 赛瑞达智能电子装备供应
由于化合物半导体对生长环境的要求极为苛刻,管式炉所具备的精确温度控制、稳定的气体流量控制以及高纯度的炉内环境,成为了保障外延层高质量生长的关键要素。在碳化硅外延生长过程中,管式炉需要将温度精确控制在1500℃-1700℃的高温区间